砷化镓晶片加工废水处理及近零排放中试研究
李伟超, 杨军, 常海, 耿天驰, 武玉冲, 刘晶晶, 王妤予, 吴云, 陈英波
Pilot study on treatment and near zero discharge of gallium arsenide wafer processing wastewater
Weichao LI, Jun YANG, Hai CHANG, Tianchi GENG, Yuchong WU, Jingjing LIU, Yuyu WANG, Yun WU, Yingbo CHEN
工业水处理
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2025, (3): 65
-72
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DOI: 10.19965/j.cnki.iwt.2024-0123
津公网安备 12010602120337号