基于膜吸收法处理实际高浓度蚀刻废液的研究

刘华光, 任亚涛, 赵子龙, 王宏杰, 董文艺, 侯惠惠

Treatment of actual high concentration etching solution based on membrane absorption method

Huaguang LIU, Yatao REN, Zilong ZHAO, Hongjie WANG, Wenyi DONG, Huihui HOU

表1 膜组件主要特性

Table 1 Main features of membrane components

指标 膜面积/m2 长度/m 内径/μm 外径/μm 微孔尺寸/μm 壁厚/μm 孔隙率/% 工作温度/℃ 数值 0.5 0.24 250~300 350~400 0.1~0.2 40~50 40~50 4~45