基于膜吸收法处理实际高浓度蚀刻废液的研究

刘华光, 任亚涛, 赵子龙, 王宏杰, 董文艺, 侯惠惠

Treatment of actual high concentration etching solution based on membrane absorption method

Huaguang LIU, Yatao REN, Zilong ZHAO, Hongjie WANG, Wenyi DONG, Huihui HOU

表3 膜吸收法处理蚀刻废液运行结果

Table 3 Operation results of etching waste solution treated by membrane absorption method

实验批次	处理水量/（L·m^-2）	进水NH₄⁺-N/ （mg·L^-1）	出水NH₄⁺-N/ （mg·L^-1）	过膜级数	ARR/%	K/（m·s^-1）	J/（mg·m^-2∙s^-1）
1	20	79 900	90	17	99.89	3.43×10 ^-⁶	40.3
2	40	83 200	97	17	99.88	3.41×10 ^-⁶	42.0
3	60	80 200	92	18	99.89	3.42×10 ^-⁶	40.5
4	80	79 500	91	18	99.89	3.42×10 ^-⁶	40.1
5	100	82 000	98	18	99.88	3.40×10 ^-⁶	41.4
6	120	80 700	100	18	99.88	3.38×10 ^-⁶	40.7
7	140	81 000	102	18	99.87	3.37×10 ^-⁶	40.9
8	160	83 000	113	18	99.86	3.33×10 ^-⁶	41.9
9	180	81 000	109	18	99.87	3.34×10 ^-⁶	40.9
10	200	81 500	115	18	99.86	3.31×10 ^-⁶	41.1
11	220	80 800	120	18	99.85	3.29×10 ^-⁶	40.7
12	240	80 200	123	18	99.85	3.27×10 ^-⁶	40.4
13	260	83 500	140	18	99.83	3.23×10 ^-⁶	42.1
14	280	83 200	145	18	99.83	3.21×10 ^-⁶	41.9
15	300	84 300	152	18	99.82	3.19×10 ^-⁶	42.5
16	320	84 700	150	18	99.82	3.20×10 ^-⁶	42.7
17	340	81 000	128	18	99.84	3.26×10 ^-⁶	40.8
18	360	82 500	135	18	99.84	3.24×10 ^-⁶	41.6
19	380	79 500	130	18	99.84	3.24×10 ^-⁶	40.1