臭氧催化氧化在单晶硅切削液废水处理的工程应用

王学良, 杨永奎

工业水处理 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (3) : 195-198.

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工业水处理 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (3) : 195-198. DOI: 10.19965/j.cnki.iwt.2024-0155
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臭氧催化氧化在单晶硅切削液废水处理的工程应用

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Engineering application of ozone catalytic oxidation in the treatment of monocrystalline silicon cutting fluid wastewater

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