中国电子级超纯水自主化制备关键难题与解决思路

蔡涵颖, 王文龙, 吴乾元, 熊江磊, 巫寅虎, 黄南, 王琦, 胡洪营

工业水处理 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (6) : 1-6.

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工业水处理 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (6) : 1-6.
专论与综述

中国电子级超纯水自主化制备关键难题与解决思路

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Key problems and novel strategy of autonomous preparation for electronic-grade ultrapure water in China

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