工业水处理 ›› 1985, Vol. 5 ›› Issue (2): 35-38. doi: 10.11894/1005-829x.1985.5.(2).35
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马延岭
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Ma Yanling
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摘要：
随着我国半导体工业的发展,大规模集成电路研制成功,1980年11月在厦门制定了超纯水标准(草案),其中对颗粒直径和颗粒浓度都有一定的要求。过去限于认识水平和
马延岭. 测定超纯水中颗粒存在的一些问题[J]. 工业水处理, 1985, 5(2): 35-38.
Ma Yanling. [J]. INDUSTRIAL WATER TREATMENT, 1985, 5(2): 35-38.
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