工业水处理 ›› 1986, Vol. 6 ›› Issue (4): 3-7. doi: 10.11894/1005-829x.1986.6(4).3
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沈健
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近年来，随着半导体和集成电路的迅速发展，人们常提到超纯水水质如何适应微电子工业要求的问题。在各国现有的标准中，大多是由一些半导体厂家和水处理公司提供的，最近几年也有学会颁布的，尽管标准中所列的指标大同小异，但仍有差别，有的甚至会达到一个数量级，特别是由水处理公司提供的数据往往是从商业需要出发，可谓品类繁多。为了避免使用上的盲目性，建立符合我国国情的超纯水标准，乃是当务之急。
沈健. 超纯水标准的讨论[J]. 工业水处理, 1986, 6(4): 3-7.
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