臭氧催化氧化在单晶硅切削液废水处理的工程应用
王学良, 杨永奎
Engineering application of ozone catalytic oxidation in the treatment of monocrystalline silicon cutting fluid wastewater
Xueliang WANG, Yongkui YANG
工业水处理 . 2024, (3): 195 -198 .  DOI: 10.19965/j.cnki.iwt.2024-0155