摘要：

近年来,半导体及集成电路生产中用水,要求其水质的电阻率达到15～18兆欧—厘米(25℃),接近纯水的理论值。因此,在纯水水质标准、纯水处理工艺流程及系统、设备装置、微量检测技术,以及清洗废

关键词: 微粒, 水处理技术, 预处理, 电子工业, 发展动向, 反渗透, 水质标准, 电阻率, 杂质, 工业纯水